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发明公开
MICRO MOVABLE ELEMENT AND MICRO MOVABLE ELEMENT ARRAY 审中-公开
标题翻译： MICRO移动元件和微移动元件阵列

公开(公告)号：EP2216288A4

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：EP07830931

申请日：2007-10-31

申请人： FUJITSU LTD

发明人： TSUBOI OSAMU , KOUMA NORINAO , MIZUNO YOSHIHIRO , OKUDA HISAO , SONEDA HIROMITSU , MATSUMOTO TSUYOSHI

IPC分类号： B81B3/00

CPC分类号： B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81B2203/058 , G02B26/0841