发明授权
- 专利标题： A METHOD OF FORMING A HIGH DENSITY STRUCTURE
- 专利标题（中）： 方法形成高密度的结构
-
申请号： EP09788230.2申请日： 2009-07-14
-
公开(公告)号： EP2308276B1公开(公告)日： 2016-10-26
- 发明人: VAN DEN BRAND, Jeroen , DIETZEL, Andreas Heinrich
- 申请人： Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
- 申请人地址： Anna van Buerenplein 1 2595 DA 's-Gravenhage NL
- 专利权人： Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
- 当前专利权人： Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
- 当前专利权人地址： Anna van Buerenplein 1 2595 DA 's-Gravenhage NL
- 代理机构： V.O.
- 优先权： EP08160452 20080715
- 国际公布： WO2010008281 20100121
- 主分类号： H05K3/10
- IPC分类号： H05K3/10 ; H05K3/12
公开/授权文献
- EP2308276A1 A METHOD OF FORMING A HIGH DENSITY STRUCTURE 公开/授权日：2011-04-13
信息查询
