发明公开
EP2397904A1 Treatment of synthetic quartz glass substrate
有权
Behandlung von synthetischem Quarzglassubstrat
- 专利标题： Treatment of synthetic quartz glass substrate
- 专利标题（中）： Behandlung von synthetischem Quarzglassubstrat
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申请号： EP11170116.5申请日： 2011-06-16
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公开(公告)号： EP2397904A1公开(公告)日： 2011-12-21
- 发明人: Matsui, Harunobu , Hasegawa, Ryouhei , Takeuchi, Masaki
- 申请人： Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- 申请人地址： 6-1, Otemachi 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo JP
- 专利权人： Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- 当前专利权人： Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： 6-1, Otemachi 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo JP
- 代理机构： Stoner, Gerard Patrick
- 优先权： JP2010139052 20100618
- 主分类号： G03F7/16
- IPC分类号： G03F7/16 ; G03F7/42 ; G03F1/14
摘要：
A synthetic quartz glass substrate having a resist film coated thereon is treated by immersing it in a terpene-containing solvent until the resist film is released, and rinsing the substrate with water.
公开/授权文献
- EP2397904B1 Treatment of synthetic quartz glass substrate 公开/授权日：2015-05-06
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IPC分类:
