发明公开
EP2399707A3 Method for manufacturing electronic grade synthetic quartz glass substrate
有权
一种用于生产电子上水平的合成石英玻璃基板的制造方法
- 专利标题： Method for manufacturing electronic grade synthetic quartz glass substrate
- 专利标题（中）： 一种用于生产电子上水平的合成石英玻璃基板的制造方法
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申请号： EP11171429.1申请日： 2011-06-27
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公开(公告)号： EP2399707A3公开(公告)日： 2014-11-19
- 发明人: Okafuji, Daiyu , Takeuchi, Masaki , Yamazaki, Hiroyuki
- 申请人： Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- 申请人地址： 6-1, Otemachi 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo JP
- 专利权人： Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- 当前专利权人： Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： 6-1, Otemachi 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo JP
- 代理机构： Stoner, Gerard Patrick
- 优先权： JP2010146507 20100628
- 主分类号： B24B7/24
- IPC分类号： B24B7/24 ; C03C15/02 ; B24B19/03 ; B24B7/22
摘要：
An electronic grade synthetic quartz glass substrate having a recess, channel or step is manufactured by machining at least one surface of a synthetic quartz glass substrate having a maximum birefringence of up to 3 nm/cm in its entirety to form a recess, channel or step, and removing the residual stress due to machining.
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