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EP2411568B1 DEVICE AND METHOD TO CONDUCT AN ELECTROCHEMICAL REACTION ON A SURFACE OF A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE 有权
设备和方法进行电化学反应的半导体基板的表面

  • 专利标题： DEVICE AND METHOD TO CONDUCT AN ELECTROCHEMICAL REACTION ON A SURFACE OF A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
  • 专利标题（中）： 设备和方法进行电化学反应的半导体基板的表面
  • 申请号： EP10711213.8
    申请日： 2010-03-25
  • 公开(公告)号： EP2411568B1
    公开(公告)日： 2015-11-04
  • 发明人: ZAHRAOUI, Said , DESCOURS, Francis , RAYNAL, Frédéric
  • 申请人： Alchimer
  • 申请人地址： Z.I. La Bonde 15, rue du Buisson aux Fraises 91300 Massy FR
  • 专利权人： Alchimer
  • 当前专利权人： Alchimer
  • 当前专利权人地址： Z.I. La Bonde 15, rue du Buisson aux Fraises 91300 Massy FR
  • 代理机构： Regimbeau
  • 优先权： FR0901518 20090327
  • 国际公布： WO2010108996 20100930
  • 主分类号： C25D17/00
  • IPC分类号： C25D17/00 ;  C25D5/00 ;  H01L21/288 ;  C25D7/12 ;  C25D13/22
DEVICE AND METHOD TO CONDUCT AN ELECTROCHEMICAL REACTION ON A SURFACE OF A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
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