- 专利标题： Ion sources, systems and methods
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申请号： EP11183114.5申请日： 2006-11-15
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公开(公告)号： EP2418674B1公开(公告)日： 2019-03-13
- 发明人: Markwort, Lars , Aderhold, Dirk , Ward, Billy W. , Notte, John A. , Farkas, Louis , Percival, Randall , Hill, Raymond
- 申请人： Carl Zeiss Microscopy, LLC
- 申请人地址： One Zeiss Drive Thornwood, NY 10594 US
- 专利权人： Carl Zeiss Microscopy, LLC
- 当前专利权人： Carl Zeiss Microscopy, LLC
- 当前专利权人地址： One Zeiss Drive Thornwood, NY 10594 US
- 代理机构： Carl Zeiss AG - Patentabteilung
- 优先权： US385215 20060320; US385136 20060320; US741956P 20051202; US784390P 20060320; US784388P 20060320; US784331P 20060320; US784500P 20060320; US795806P 20060428; US799203P 20060509
- 主分类号： H01J37/28
- IPC分类号： H01J37/28 ; H01J9/02 ; H01J37/08 ; H01J37/252 ; H01J37/305 ; H01J37/317 ; B81B1/00 ; G01N23/225 ; H01J27/26 ; H01J37/20
公开/授权文献
- EP2418674A3 Ion sources, systems and methods 公开/授权日：2013-06-05
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