发明授权
- 专利标题： System for purging reticle storage
- 专利标题（中）： 系统冲洗Retikelablage
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申请号： EP12000081.5申请日： 2007-06-19
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公开(公告)号： EP2453310B1公开(公告)日： 2015-12-09
- 发明人: Kishkovich, Oleg , Gabarre, Xavier , Goodwin, William , Lo, James , Scoggins, Troy
- 申请人： Entegris, Inc.
- 申请人地址： 129 Concord Road Billerica, MA 01821-4600 US
- 专利权人： Entegris, Inc.
- 当前专利权人： Entegris, Inc.
- 当前专利权人地址： 129 Concord Road Billerica, MA 01821-4600 US
- 代理机构： Geyer, Fehners & Partner
- 优先权： US814824P 20060619; US844570P 20060914; US903488P 20070226
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; H01L21/673 ; H01L21/687 ; H01L21/67 ; H01L21/677 ; G03F1/66
公开/授权文献
- EP2453310A3 System for purging reticle storage 公开/授权日：2014-09-17
信息查询
IPC分类:
