- 专利标题： ACTUATOR FOR MOVING A MICRO MECHANICAL ELEMENT
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申请号： EP10765764.5申请日： 2010-09-16
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公开(公告)号： EP2478404B1公开(公告)日： 2020-03-11
- 发明人: BAKKE, Thor , JOHANSEN, Ib-Rune , VOGL, Andreas , TYHOLT, Frode , WANG, Dag Thorstein
- 申请人： SINTEF TTO AS
- 申请人地址： Postboks 4764 Torgarden 7465 Trondheim NO
- 专利权人： SINTEF TTO AS
- 当前专利权人： SINTEF TTO AS
- 当前专利权人地址： Postboks 4764 Torgarden 7465 Trondheim NO
- 代理机构： Protector IP AS
- 优先权： NO20093022 20090918
- 国际公布： WO2011033028 20110324
- 主分类号： G02B26/08
- IPC分类号： G02B26/08 ; H01L41/09 ; G01J3/26 ; G02B26/00 ; H01L41/187 ; H01L41/25
公开/授权文献
- EP2478404A1 ACTUATOR FOR MOVING A MICRO MECHANICAL ELEMENT 公开/授权日：2012-07-25
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