发明公开
- 专利标题： FLEXIBLE SUBSTRATE POSITION CONTROL DEVICE
- 专利标题（中）： 一种用于控制中的地位柔性衬底
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申请号： EP10845817申请日： 2010-12-21
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公开(公告)号： EP2535439A4公开(公告)日： 2014-01-08
- 发明人: YAMADA TAKANORI , YOKOYAMA SHOJI
- 申请人： FUJI ELECTRIC CO LTD
- 专利权人： FUJI ELECTRIC CO LTD
- 当前专利权人： FUJI ELECTRIC CO LTD
- 优先权： JP2010162704 2010-07-20; JP2010026502 2010-02-09
- 主分类号： C23C16/44
- IPC分类号： C23C16/44 ; C23C14/56 ; C23C16/54 ; H01L21/205 ; H01L21/67 ; H01L21/677 ; H01L31/04 ; H01L31/20
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