公开(公告)号：EP2514852A4

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：EP10837410

申请日：2010-11-22

申请人： FUJI ELECTRIC CO LTD

发明人： NISHIZAWA MASANORI ,  YOKOYAMA SHOJI ,  YAMADA TAKANORI

IPC分类号： C23C14/56 ,  B65H9/16 ,  B65H23/025 ,  B65H23/032 ,  B65H23/038 ,  C23C16/44

CPC分类号： B65H23/0324 ,  B65H9/166 ,  B65H23/038 ,  B65H2301/323 ,  B65H2403/942 ,  B65H2404/14212

公开(公告)号：EP2463402A4

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：EP10806470

申请日：2010-08-04

申请人： FUJI ELECTRIC CO LTD

发明人： NISHIZAWA MASANORI ,  YOKOYAMA SHOJI ,  YAMADA TAKANORI

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C16/54 ,  H01L31/04

CPC分类号： C23C14/562 ,  B65H23/0324 ,  B65H23/038 ,  B65H23/195 ,  B65H23/26 ,  B65H2301/323 ,  B65H2301/51145

公开(公告)号：EP2368824A4

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：EP09834758

申请日：2009-12-17

申请人： FUJI ELECTRIC CO LTD

发明人： YAMADA TAKANORI ,  YOKOYAMA SHOJI ,  FUNO HIDEKAZU ,  TSUKAHARA YUJI

IPC分类号： B65H23/032 ,  B65H23/038 ,  C23C14/56 ,  C23C16/54 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L31/18

CPC分类号： B65H23/038 ,  B65H23/0322 ,  B65H2301/3113 ,  B65H2301/323 ,  B65H2301/51145 ,  B65H2404/15212 ,  B65H2601/2532 ,  B65H2701/1752 ,  C23C14/562 ,  C23C16/545 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/68 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

公开(公告)号：EP2535439A4

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：EP10845817

申请日：2010-12-21

申请人： FUJI ELECTRIC CO LTD

发明人： YAMADA TAKANORI ,  YOKOYAMA SHOJI

IPC分类号： C23C16/44 ,  C23C14/56 ,  C23C16/54 ,  H01L21/205 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L31/04 ,  H01L31/20

CPC分类号： B29C66/95 ,  B29C66/90 ,  C23C14/562 ,  C23C16/545 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  Y10T156/17 ,  Y10T156/1741

公开(公告)号：EP2466646A4

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：EP10839136

申请日：2010-11-29

申请人： FUJI ELECTRIC CO LTD

发明人： YOSHIDA TAKASHI ,  YOKOYAMA SHOJI ,  YAMADA TAKANORI ,  NISHIZAWA MASANORI ,  WADA TAKENORI

IPC分类号： H01L31/04

CPC分类号： H01L21/6776 ,  B65H2301/323 ,  C23C16/46 ,  C23C16/545 ,  H01L21/67109 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

公开(公告)号：EP2407403A4

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：EP10837467

申请日：2010-12-07

申请人： FUJI ELECTRIC CO LTD

发明人： WADA TAKENORI ,  YOSHIDA TAKASHI ,  YOKOYAMA SHOJI ,  YAMADA TAKANORI ,  NISHIZAWA MASANORI

IPC分类号： B65H23/038 ,  B65H20/02 ,  B65H23/025 ,  B65H23/032 ,  H01L21/67 ,  H01L31/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC分类号： H01L21/683 ,  B65H20/02 ,  B65H23/025 ,  B65H23/0324 ,  B65H23/038 ,  B65H2301/323 ,  B65H2511/214 ,  B65H2511/216 ,  B65H2513/41 ,  B65H2701/175 ,  H01L21/67092