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EP2546863B1 Methods and structures for rapid switching between different process gases in an inductively-coupled plasma (IPC) ion source 有权
方法和在感应耦合Plasmaionquelle不同的工艺气体之间快速切换的结构（ICP）

  • 专利标题： Methods and structures for rapid switching between different process gases in an inductively-coupled plasma (IPC) ion source
  • 专利标题（中）： 方法和在感应耦合Plasmaionquelle不同的工艺气体之间快速切换的结构（ICP）
  • 申请号： EP12173972.6
    申请日： 2012-06-28
  • 公开(公告)号： EP2546863B1
    公开(公告)日： 2014-01-08
  • 发明人: Graupera, Anthony , Kellogg, Sean , Utlaut, Mark , Parker, N. William
  • 申请人： FEI Company
  • 申请人地址： 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, OR 97124-5793 US
  • 专利权人： FEI Company
  • 当前专利权人： FEI Company
  • 当前专利权人地址： 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, OR 97124-5793 US
  • 代理机构： Bakker, Hendrik
  • 优先权： US201113182187 20110713
  • 主分类号： H01J37/08
  • IPC分类号： H01J37/08 ;  H01J37/18
Methods and structures for rapid switching between different process gases in an inductively-coupled plasma (IPC) ion source
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