- 专利标题： MIKROMECHANISCHES SUBSTRAT FÜR MEMBRAN MIT DIFFUSIONSSPERRSCHICHT
- 专利标题（英）： EP2606002B1 - Micromechanical substrate for a diaphragm with a diffusion barrier layer
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申请号： EP11725010.0申请日： 2011-05-23
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公开(公告)号： EP2606002B1公开(公告)日： 2018-12-05
- 发明人: FLEISCHER, Maximilian , HEDLER, Harry , WIESNER, Kerstin , ZAPF, Jörg , FREUDENBERG, Oliver , SCHIEBER, Markus , SCHREINER, Manfred , WEIDNER, Karl
- 申请人： Siemens Aktiengesellschaft
- 申请人地址： Werner-von-Siemens-Straße 1 80333 München DE
- 专利权人： Siemens Aktiengesellschaft
- 当前专利权人： Siemens Aktiengesellschaft
- 当前专利权人地址： Werner-von-Siemens-Straße 1 80333 München DE
- 优先权： DE102010041763 20100930
- 国际公布： WO2012041539 20120405
- 主分类号： B81B3/00
- IPC分类号： B81B3/00 ; G01N27/12 ; G01N27/14
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