发明公开
- 专利标题： MEMS Gyroscopes with Reduced Errors
- 专利标题（中）： MEMS-Gyroskope mit reduzierten Fehlern
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申请号： EP13163371.1申请日： 2013-04-11
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公开(公告)号： EP2657648A2公开(公告)日： 2013-10-30
- 发明人: Geen, John , Chang, John
- 申请人： Analog Devices, Inc.
- 申请人地址： One Technology Way Norwood, Massachusetts 02062-9106 US
- 专利权人： Analog Devices, Inc.
- 当前专利权人： Analog Devices, Inc.
- 当前专利权人地址： One Technology Way Norwood, Massachusetts 02062-9106 US
- 代理机构： Beck, Simon Antony
- 优先权： US201213456706 20120426
- 主分类号： G01C19/5719
- IPC分类号： G01C19/5719 ; G01C19/574
摘要：
In comb drive vibratory gyroscopes, drive-induced Coriolis accelerometer offset is effectively canceled by demodulating the output during equal times of in-phase (+) and anti-phase (-) drive of the shuttle with respect to the velocity signal used for angular rate demodulation. This reduces or eliminates the corresponding thermal and die-stress effects otherwise needing calibration.
公开/授权文献
- EP2657648B1 MEMS Gyroscopes with Reduced Errors 公开/授权日：2017-05-24
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