发明公开
EP2724358A4 ARRAYS OF METAL AND METAL OXIDE MICROPLASMA DEVICES WITH DEFECT FREE OXIDE
审中-公开
金属铝 - 金属氧化物 - 麦克风脂肪酸镁
- 专利标题： ARRAYS OF METAL AND METAL OXIDE MICROPLASMA DEVICES WITH DEFECT FREE OXIDE
- 专利标题（中）： 金属铝 - 金属氧化物 - 麦克风脂肪酸镁
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申请号： EP12802060申请日： 2012-06-20
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公开(公告)号： EP2724358A4公开(公告)日： 2014-11-26
- 发明人: EDEN J GARY , PARK SUNG-JIN , CHO JIN HOON , SUNG SEUNG HOON , KIM MIN HWAN
- 申请人： UNIV ILLINOIS
- 专利权人： UNIV ILLINOIS
- 当前专利权人： UNIV ILLINOIS
- 优先权： US201161501057 2011-06-24
- 主分类号： H01J11/18
- IPC分类号： H01J11/18 ; H01J11/22 ; H01J11/34 ; H01J17/06 ; H01J17/16 ; H05H1/24
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