发明授权
- 专利标题： LONISATIONS - VAKUUMMESSZELLE
- 专利标题（英）： Ionization vacuum measuring cell
- 专利标题（中）： 电离 - 真空测量计
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申请号： EP12748149.7申请日： 2012-08-02
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公开(公告)号： EP2753907B1公开(公告)日： 2015-10-21
- 发明人: ANDREAUS, Bernhard
- 申请人： Inficon GmbH
- 申请人地址： Hintergasse 15B 7310 Bad Ragaz CH
- 专利权人： Inficon GmbH
- 当前专利权人： Inficon GmbH
- 当前专利权人地址： Hintergasse 15B 7310 Bad Ragaz CH
- 代理机构： Troesch Scheidegger Werner AG
- 优先权： CH14832011 20110908
- 国际公布： WO2013033851 20130314
- 主分类号： G01L21/34
- IPC分类号： G01L21/34 ; G01L21/30 ; H01J41/06
公开/授权文献
- EP2753907A1 LONISATIONS - VAKUUMMESSZELLE 公开/授权日：2014-07-16
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