- 专利标题: PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE D'ACCUEIL POUR CONNECTER ELECTRIQUEMENT UN NANO-OBJET SUR UNE FACE DE CELLE-CI ET EN REPRENDRE LE CONTACT ELECTRIQUE SUR LA FACE OPPOSEE
- 专利标题(英): EP2867920B1 - Method for manufacturing a receiving structure for electrically connecting a nano-object on a surface thereof and re- establish electrical contact with the nano-object on the opposite surface
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申请号: EP13730901.9申请日: 2013-06-25
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公开(公告)号: EP2867920B1公开(公告)日: 2018-07-25
- 发明人: BAILLIN, Xavier , LEDUC, Patrick
- 申请人: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 申请人地址: Bâtiment le Ponant D 25 rue Leblanc 75015 Paris FR
- 专利权人: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人地址: Bâtiment le Ponant D 25 rue Leblanc 75015 Paris FR
- 代理机构: Brevalex
- 优先权: FR1256111 20120627
- 国际公布: WO2014001290 20140103
- 主分类号: H01L21/768
- IPC分类号: H01L21/768 ; B82Y10/00 ; H01L21/84 ; H01L23/498
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