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发明公开
EP2919019A1 INERTIALSENSOR UND HERSTELLUNGSVERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES INERTIALSENSORS 审中-公开
惯性和方法用于制造惯性传感器

INERTIALSENSOR UND HERSTELLUNGSVERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES INERTIALSENSORS
摘要：
Die Erfindung betrifft einen Inertialsensor (100) mit einer eine Elektrode (108) aufweisenden Elektrodenschicht (102), einer eine erste Gegenelektrode (110) und eine zweite Gegenelektrode (112) aufweisenden Gegenelektrodenschicht (106) und einer einen ersten beweglich gelagerten Sensorkern (114) und einen zweiten beweglich gelagerten Sensorkern (116) aufweisenden Sensorkernschicht (104) aus einem monokristallinen Material, wobei die Sensorkernschicht (104) zwischen der Elektrodenschicht (102) und der Gegenelektrodenschicht (106) angeordnet ist.
摘要（中）：

本发明涉及一种具有含具有反电极层（106）和第一可移动地安装的传感器芯的电极层（102），第一对向电极（110）和第二对向电极（112）一个一个电极（108）的惯性传感器（100）（114） 和具有单晶材料的传感器芯层（104）的第二可移动地安装的传感器芯（116），所述电极层（102）和对置电极层（106）之间的传感器芯层（104）被布置。

摘要（英）：

The invention relates to an inertial sensor (100) having a one electrode (108) having the electrode layer (102), a first counter electrode (110) and a second counter electrode (112) comprising a counter electrode layer (106) and a first movably mounted sensor core (114) and a second movably mounted sensor core (116) having sensor core layer (104) of a monocrystalline material, said sensor core layer (104) is arranged between the electrode layer (102) and the counter electrode layer (106).

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