公开(公告)号：EP2919019A1

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：EP15155693.3

申请日：2015-02-19

申请人： ROBERT BOSCH GMBH

发明人： Rohlfing, Franziska ,  Hoeppner, Christian ,  Schmidt, Benjamin ,  Heuck, Friedjof ,  Schelling, Christoph

IPC分类号： G01P15/08 ,  G01C19/5733 ,  G01P15/125

CPC分类号： G01P15/0802 ,  G01C19/5733 ,  G01P15/125

摘要： Die Erfindung betrifft einen Inertialsensor (100) mit einer eine Elektrode (108) aufweisenden Elektrodenschicht (102), einer eine erste Gegenelektrode (110) und eine zweite Gegenelektrode (112) aufweisenden Gegenelektrodenschicht (106) und einer einen ersten beweglich gelagerten Sensorkern (114) und einen zweiten beweglich gelagerten Sensorkern (116) aufweisenden Sensorkernschicht (104) aus einem monokristallinen Material, wobei die Sensorkernschicht (104) zwischen der Elektrodenschicht (102) und der Gegenelektrodenschicht (106) angeordnet ist.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有含具有反电极层（106）和第一可移动地安装的传感器芯的电极层（102），第一对向电极（110）和第二对向电极（112）一个一个电极（108）的惯性传感器（100）（114） 和具有单晶材料的传感器芯层（104）的第二可移动地安装的传感器芯（116），所述电极层（102）和对置电极层（106）之间的传感器芯层（104）被布置。

公开(公告)号：EP3001166A1

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：EP15176408.1

申请日：2015-07-13

申请人： ROBERT BOSCH GMBH

发明人： Fuchs, Tino ,  Rohlfing, Franziska

IPC分类号： G01L9/00

CPC分类号： G01L9/0045 ,  G01L9/0042

摘要： Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drucksensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Drucksensorvorrichtung umfasst ein erstes Substrat (W1) mit einer ersten Vorderseite (V1) und einer ersten Rückseite (R1), eine in dem ersten Substrat (W1) ausgebildete Wanne (WA), wobei in der Wanne (WA) eine erste Elektrode (E3) ausgebildet ist, welche sich über die Wanne (WA) hinaus in eine Peripherie der Wanne (WA) auf der erste Vorderseite (V1) erstreckt. Weiterhin umfasst sie ein zweites Substrat (W2) mit einer zweiten Vorderseite (V2) und einer zweiten Rückseite (R2), eine in dem zweiten Substrat (W2) ausgebildete erste Durchgangsöffnung (V3), wobei die erste Durchgangsöffnung an der zweiten Vorderseite (V2) von einem membranartigen ersten Widerstandsbereich (R3) überspannt ist. Die erste Vorderseite (V1) und die zweite Vorderseite (V2) sind derart über eine Bondverbindung (B1, B2) miteinander verbunden sind, dass der erste Widerstandsbereich (R3) die erste Elektrode (E3) zum Bilden einer Kaverne (K) mit vorbestimmter Druckatmosphäre verschließt und in der Peripherie der Wanne (WA) die erste Elektrode (E3) elektrisch kontaktiert. Der erste Widerstandsbereich (R3) ist durch Anlegen von Druck (P) durch die Durchgangsöffnung (V3) in die Wanne (WA) auslenkbar, so dass er die erste Elektrode (E3) innerhalb der Wanne (WA) elektrisch kontaktiert.

摘要翻译： 本发明提供了一种微机械压力传感器装置和相应的制造方法。 微机械压力传感器装置包括具有第一前表面（V1）和第一背面侧（R1），一个在所述第一基片（W1）形成桶（WA），其中，在槽（WA）的第一电极（第1基板（W1） 形成E3），其延伸在槽（WA）加入（在所述第一前侧的盘WA）的周边（V1）延伸。 此外，包括具有第二前侧（V2）和通孔（V3）第一形成的第二背面（R2），一个在上述第二基板（W2）的第二基板（W2），所述第一通孔在所述第二前侧（V2） 由膜状的第一电阻区域（R3）被跨越。 第一前侧（V1）和第二前侧（V2），使得键合连接（B1，B2）被连接到彼此，所述第一电阻区域（R3），用于形成腔体（K）的第一电极（E3）具有预定压力的气氛 关闭，并且锅（WA）的周边，所述第一电极（E3）的电接触。 第一电阻区域（R3）通过在桶（WA）的贯通开口（V3）施加压力（P）可被偏转，从而它接触槽（WA）电内的第一电极（E3）。

公开(公告)号：EP3001168A1

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：EP15184000.6

申请日：2015-09-07

申请人： ROBERT BOSCH GMBH

发明人： Rohlfing, Franziska ,  Fuchs, Tino ,  Heuck, Friedjof

IPC分类号： G01L9/00

CPC分类号： G01L9/0045 ,  G01L9/0042

摘要： Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drucksensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Drucksensorvorrichtung umfasst ein erstes Substrat (W1) mit einer ersten Vorderseite (V1) und einer ersten Rückseite (R1), eine in dem ersten Substrat (W1) ausgebildete Wanne (WA), wobei in der Wanne (WA) eine erste Elektrode (E3) ausgebildet ist, welche sich über die Wanne (WA) hinaus in eine Peripherie der Wanne (WA) auf der erste Vorderseite (V1) erstreckt. Weiterhin umfasst sie ein zweites Substrat (W2) mit einer zweiten Vorderseite (V2) und einer zweiten Rückseite (R2), wobei die erste Vorderseite (V1) und die zweite Vorderseite (V2) derart über eine Bondverbindung (B1) miteinander verbunden sind, dass ein erster membranartiger Widerstandsbereich (R3) die erste Elektrode (E3) zum Bilden einer Kaverne (K) mit vorbestimmter Druckatmosphäre verschließt und in der Peripherie der Wanne (WA) die erste Elektrode (E3) elektrisch kontaktiert. Der erste Widerstandsbereich (R3) ist durch Anlegen von Druck (P) in die Wanne (WA) auslenkbar, so dass er die erste Elektrode (E3) innerhalb der Wanne (WA) elektrisch kontaktiert.

摘要翻译： 本发明提供了一种微机械压力传感器装置和相应的制造方法。 微机械压力传感器装置包括具有第一前表面（V1）和第一背面侧（R1），一个在所述第一基片（W1）形成桶（WA），其中，在槽（WA）的第一电极（第1基板（W1） 形成E3），其延伸在槽（WA）加入（在所述第一前侧的盘WA）的周边（V1）延伸。 此外，包括具有第二前侧（V2），并且其中所述第一前侧（V1）和第二前侧（V2）以这样的键合连接（B1）连接在一起的第二后表面（R2），第二基板（W2），该 第一膜状电阻区域（R3），将用于形成具有预定压力的气氛，并关闭在所述锅体（WA）的周围的空腔（K）的第一电极（E3），所述第一电极（E3）的电接触。 第一电阻区域（R3）通过在桶（WA）施加压力（P）可被偏转，使得其槽（WA）电接触内的第一电极（E3）。

公开(公告)号：EP3168633A3

公开(公告)日：2017-06-21

申请号：EP16188073.7

申请日：2016-09-09

申请人： ROBERT BOSCH GMBH

发明人： Rohlfing, Franziska ,  Heuck, Friedjof

IPC分类号： G01R33/00 ,  G01R33/02 ,  G01R33/07

CPC分类号： G01R33/0005 ,  G01R33/0206 ,  G01R33/07

摘要： Die Erfindung schafft eine Sensorvorrichtung, eine dreidimensionale Sensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren.
Die Sensorvorrichtung (Hx1) umfasst ein Halbleitersubstrat (10), das eine Kavität (K1) umfasst, wobei die Kavität (K1) eine Oberseite (O1), eine Bodenfläche (B1), eine erste Seitenfläche (F1), eine zweite Seitenfläche (F2), eine dritte Seitenfläche (F3) und eine vierte Seitenfläche (F4) umfasst, wobei die erste Seitenfläche (F1) der zweiten Seitenfläche (F2) gegenüberliegt und die dritte Seitenfläche (F3) der vierten Seitenfläche (F4) gegenüberliegt. Die Oberseite (O1) der Kavität (K1) weist an der ersten Seitenfläche (F1) zumindest bereichsweise zwei Stromzuführbereiche (S1, S2) und einen ersten Hallspannungsbereich (UH1) auf, wobei der erste Hallspannungsbereich (UH1) zwischen den zwei Stromzuführbereichen (S1, S2) angeordnet ist und an der Oberseite (O1) der zweiten Seitenfläche (F2) ein zweiter Hallspannungsbereich (UH2) angeordnet ist und eine zumindest bereichsweise homogene Kohlenstoffschicht (70) der dritten Seitenfläche (F3) und der vierten Seitenfläche (F4) durchbrochen ist und der ersten Hallspannungsbereich (UH1) mit dem zweiten Hallspannungsbereich (UH2) mittels der zumindest bereichsweisen homogenen Kohlenstoffschicht (70) verbunden ist.

公开(公告)号：EP3168633A2

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：EP16188073.7

申请日：2016-09-09

申请人： ROBERT BOSCH GMBH

发明人： Rohlfing, Franziska ,  Heuck, Friedjof

IPC分类号： G01R33/00 ,  G01R33/02

CPC分类号： G01R33/0005 ,  G01R33/0206 ,  G01R33/07

摘要： Die Erfindung schafft eine Sensorvorrichtung, eine dreidimensionale Sensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren.
Die Sensorvorrichtung (Hx1) umfasst ein Halbleitersubstrat (10), das eine Kavität (K1) umfasst, wobei die Kavität (K1) eine Oberseite (O1), eine Bodenfläche (B1), eine erste Seitenfläche (F1), eine zweite Seitenfläche (F2), eine dritte Seitenfläche (F3) und eine vierte Seitenfläche (F4) umfasst, wobei die erste Seitenfläche (F1) der zweiten Seitenfläche (F2) gegenüberliegt und die dritte Seitenfläche (F3) der vierten Seitenfläche (F4) gegenüberliegt. Die Oberseite (O1) der Kavität (K1) weist an der ersten Seitenfläche (F1) zumindest bereichsweise zwei Stromzuführbereiche (S1, S2) und einen ersten Hallspannungsbereich (UH1) auf, wobei der erste Hallspannungsbereich (UH1) zwischen den zwei Stromzuführbereichen (S1, S2) angeordnet ist und an der Oberseite (O1) der zweiten Seitenfläche (F2) ein zweiter Hallspannungsbereich (UH2) angeordnet ist und eine zumindest bereichsweise homogene Kohlenstoffschicht (70) der dritten Seitenfläche (F3) und der vierten Seitenfläche (F4) durchbrochen ist und der ersten Hallspannungsbereich (UH1) mit dem zweiten Hallspannungsbereich (UH2) mittels der zumindest bereichsweisen homogenen Kohlenstoffschicht (70) verbunden ist.

摘要翻译： 本发明提供一种传感器装置，一种三维传感器装置及相应的制造方法。 所述的传感器装置（HX1）包括包含具有顶部（01），底表面（B1），第一侧表面（F1），第二横向表面内的空腔（K1），所述空腔（K1）的半导体衬底（10）（F2 ），第三侧表面（F3）和第四侧面（F4），其特征在于，第二侧面（F2）相对的第一侧表面（F1），以与所述第三侧面的第四侧表面的（F3）（F4）是相反的。 顶表面空腔的（01）（K1）在第一侧表面（F1）至少部分2Stromzuführbereiche（S1，S2）和第一霍尔电压（UH1）中，提供了其中两个Stromzuführbereichen（S1之间的第一霍尔电压（UH1）， 第二侧面（F2）的第二霍尔电压（U H2）和所述第三侧面（F3）和第四侧表面（F4）的至少部分均质碳层（70）的S2），和（在顶部O1）被刺穿和 第一霍尔电压范围（UH1）通过至少部分均匀的碳层（70）连接到第二霍尔电压范围（UH2）。