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发明公开
EP3001166A1 MIKROMECHANISCHE DRUCKSENSORVORRICHTUNG UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
MICRO机械压力传感器装置及相应方法

  • 专利标题： MIKROMECHANISCHE DRUCKSENSORVORRICHTUNG UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN
  • 专利标题（英）： Micromechanical pressure sensor and corresponding manufacturing method
  • 专利标题（中）： MICRO机械压力传感器装置及相应方法
  • 申请号： EP15176408.1
    申请日： 2015-07-13
  • 公开(公告)号： EP3001166A1
    公开(公告)日： 2016-03-30
  • 发明人: Fuchs, Tino , Rohlfing, Franziska
  • 申请人： ROBERT BOSCH GMBH
  • 申请人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
  • 专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
  • 当前专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
  • 当前专利权人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
  • 优先权： DE102014217997 20140909
  • 主分类号： G01L9/00
  • IPC分类号： G01L9/00
MIKROMECHANISCHE DRUCKSENSORVORRICHTUNG UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN
摘要：
Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drucksensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Drucksensorvorrichtung umfasst ein erstes Substrat (W1) mit einer ersten Vorderseite (V1) und einer ersten Rückseite (R1), eine in dem ersten Substrat (W1) ausgebildete Wanne (WA), wobei in der Wanne (WA) eine erste Elektrode (E3) ausgebildet ist, welche sich über die Wanne (WA) hinaus in eine Peripherie der Wanne (WA) auf der erste Vorderseite (V1) erstreckt. Weiterhin umfasst sie ein zweites Substrat (W2) mit einer zweiten Vorderseite (V2) und einer zweiten Rückseite (R2), eine in dem zweiten Substrat (W2) ausgebildete erste Durchgangsöffnung (V3), wobei die erste Durchgangsöffnung an der zweiten Vorderseite (V2) von einem membranartigen ersten Widerstandsbereich (R3) überspannt ist. Die erste Vorderseite (V1) und die zweite Vorderseite (V2) sind derart über eine Bondverbindung (B1, B2) miteinander verbunden sind, dass der erste Widerstandsbereich (R3) die erste Elektrode (E3) zum Bilden einer Kaverne (K) mit vorbestimmter Druckatmosphäre verschließt und in der Peripherie der Wanne (WA) die erste Elektrode (E3) elektrisch kontaktiert. Der erste Widerstandsbereich (R3) ist durch Anlegen von Druck (P) durch die Durchgangsöffnung (V3) in die Wanne (WA) auslenkbar, so dass er die erste Elektrode (E3) innerhalb der Wanne (WA) elektrisch kontaktiert.
摘要（中）：

本发明提供了一种微机械压力传感器装置和相应的制造方法。 微机械压力传感器装置包括具有第一前表面（V1）和第一背面侧（R1），一个在所述第一基片（W1）形成桶（WA），其中，在槽（WA）的第一电极（第1基板（W1） 形成E3），其延伸在槽（WA）加入（在所述第一前侧的盘WA）的周边（V1）延伸。 此外，包括具有第二前侧（V2）和通孔（V3）第一形成的第二背面（R2），一个在上述第二基板（W2）的第二基板（W2），所述第一通孔在所述第二前侧（V2） 由膜状的第一电阻区域（R3）被跨越。 第一前侧（V1）和第二前侧（V2），使得键合连接（B1，B2）被连接到彼此，所述第一电阻区域（R3），用于形成腔体（K）的第一电极（E3）具有预定压力的气氛 关闭，并且锅（WA）的周边，所述第一电极（E3）的电接触。 第一电阻区域（R3）通过在桶（WA）的贯通开口（V3）施加压力（P）可被偏转，从而它接触槽（WA）电内的第一电极（E3）。

摘要（英）：

The invention provides a micromechanical pressure sensor device and a corresponding manufacturing method. The micromechanical pressure sensor device comprises a first substrate (W1) having a first face (V1) and a first back side (R1), one in the first substrate (W1) formed trough (WA), wherein in the trough (WA) a first electrode ( is formed E3), which extend over the trough (WA) also in a periphery of the well (WA) on the first face (V1) extends. Furthermore, it comprises a second substrate (W2) having a second front side (V2) and a second rear (R2), one in the second substrate (W2) formed on the first passage opening (V3), wherein the first through hole on the second face (V2) by a membrane-like first resistance region (R3) is covered. The first face (V1) and the second face (V2) in such a bonded connection (B1, B2) are connected to each other, that the first resistive region (R3), the first electrode (E3) for forming a cavity (K) having a predetermined pressure atmosphere closes and the periphery of the well (WA), the first electrode (E3) electrically contacted. The first resistor region (R3) by applying pressure (P) through the through-opening (V3) in the tub (WA) can be deflected so that it the first electrode (E3) within the trough (WA) electrically contacted.

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