- 专利标题： Frequency tuning of a RF-generator within a plasma process
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申请号： EP14196158.1申请日： 2014-12-03
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公开(公告)号： EP3029711B1公开(公告)日： 2019-10-16
- 发明人: Schlierf, Roland
- 申请人： Comet AG
- 申请人地址： Herrengasse 10 3175 Flamatt CH
- 专利权人： Comet AG
- 当前专利权人： Comet AG
- 当前专利权人地址： Herrengasse 10 3175 Flamatt CH
- 代理机构： dompatent von Kreisler Selting Werner - Partnerschaft von Patent- und Rechtsanwälten mbB
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
公开/授权文献
- EP3029711A8 Frequency tuning of a RF-generator within a plasma process 公开/授权日：2016-07-27
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