发明公开
- 专利标题： INERTIA SENSOR
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申请号： EP16850874.5申请日： 2016-08-03
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公开(公告)号： EP3358357A1公开(公告)日： 2018-08-08
- 发明人: DEGAWA, Munenori , KIKUCHI, Hiroshi
- 申请人： Hitachi Automotive Systems, Ltd.
- 申请人地址： 2520 Takaba Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-8503 JP
- 专利权人： Hitachi Automotive Systems, Ltd.
- 当前专利权人： Hitachi Automotive Systems, Ltd.
- 当前专利权人地址： 2520 Takaba Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-8503 JP
- 代理机构： Strehl Schübel-Hopf & Partner
- 优先权： JP2015192519 20150930
- 国际公布： WO2017056697 20170406
- 主分类号： G01P15/08
- IPC分类号： G01P15/08 ; B81B3/00 ; G01C19/5747 ; G01C19/5783 ; G01D21/02 ; G01L9/00 ; G01P15/125 ; G01P15/18 ; H01L29/84
摘要：
Provided is an inertia sensor that can be reduced in size. An inertia sensor having layers 1a, 2a in which detection parts 20, 30 are formed, the inertial sensor being a laminated structure obtained by laminating two or more of the layers.
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