- 专利标题： INTEGRATION OF SPLIT GATE NON-VOLATILE FLASH MEMORY WITH FINFET LOGIC
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申请号： EP16862684.4申请日： 2016-10-17
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公开(公告)号： EP3371829B1公开(公告)日： 2020-11-25
- 发明人: SU, Chien-sheng , ZHOU, Feng , YANG, Jeng-Wei , TRAN, Hieu, Van , DO, Nhan
- 申请人： Silicon Storage Technology, Inc.
- 申请人地址： 450 Holger Way San Jose, CA 95134 US
- 专利权人： Silicon Storage Technology, Inc.
- 当前专利权人： Silicon Storage Technology, Inc.
- 当前专利权人地址： 450 Holger Way San Jose, CA 95134 US
- 代理机构： Betten & Resch
- 优先权： US201562250349P 20151103
- 国际公布： WO2017078920 20170511
- 主分类号： H01L27/11524
- IPC分类号： H01L27/11524 ; H01L27/11529 ; H01L27/11531 ; H01L29/788 ; H01L29/423 ; H01L21/28 ; H01L27/088 ; H01L29/66
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