- 专利标题： POWER SUPPLY SYSTEM FOR A SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM
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申请号： EP18165450.0申请日： 2013-02-20
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公开(公告)号： EP3376341B1公开(公告)日： 2020-08-12
- 发明人: SCHAUER, Ronald Vern , COVINGTON, Mark Roger , KUMARASWAMI, Suresh , PURI, Amitabh
- 申请人： Applied Materials, Inc.
- 申请人地址： 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 US
- 专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人地址： 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 US
- 代理机构： Conroy, John
- 优先权： US201261601493P 20120221
- 主分类号： G06F1/26
- IPC分类号： G06F1/26 ; G06F13/10
公开/授权文献
- EP3376341A1 POWER SUPPLY SYSTEM FOR A SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM 公开/授权日：2018-09-19
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