- 专利标题： COMPOSITIONS AND METHODS FOR THE DEPOSITION OF SILICON OXIDE FILMS
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申请号： EP17851528.4申请日： 2017-09-14
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公开(公告)号： EP3516089A1公开(公告)日： 2019-07-31
- 发明人: MACDONALD, Matthew R. , LEI, Xinjian , WANG, Meiliang , HO, Richard , XIAO, Manchao , RAJARAMAN, Suresh Kalpatu
- 申请人： Versum Materials US, LLC
- 申请人地址： 8555 S. River Parkway Tempe, AZ 85284 US
- 专利权人： Versum Materials US, LLC
- 当前专利权人： Versum Materials US, LLC
- 当前专利权人地址： 8555 S. River Parkway Tempe, AZ 85284 US
- 代理机构： Beck Greener LLP
- 优先权： US201662396410P 20160919; US201662408167P 20161014; US201662417619P 20161104
- 国际公布： WO2018053129 20180322
- 主分类号： C23C16/40
- IPC分类号： C23C16/40 ; C23C16/455 ; C23C16/50
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