- 专利标题： SURFACE TREATMENT METHODS AND COMPOSITIONS THEREFOR
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申请号： EP18772478.6申请日： 2018-03-22
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公开(公告)号： EP3602606A1公开(公告)日： 2020-02-05
- 发明人: WOJTCZAK, William A. , PARK, Keeyoung , MIZUTANI, Atsushi
- 申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.
- 申请人地址： 80 Circuit Drive North Kingstown, Rhode Island 02852 US
- 专利权人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.
- 当前专利权人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.
- 当前专利权人地址： 80 Circuit Drive North Kingstown, Rhode Island 02852 US
- 代理机构： Ammelburg, Jan Moritz
- 优先权： US201762476182P 20170324; US201862617688P 20180116
- 国际公布： WO2018175682 20180927
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02 ; H01L21/3105 ; H01L21/306 ; H01L21/321 ; C09D7/63
公开/授权文献
- EP3602606B1 SURFACE TREATMENT METHODS AND COMPOSITIONS THEREFOR 公开/授权日：2024-06-26
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