- 专利标题： IMPROVED SYSTEM FOR ELECTRON DIFFRACTION ANALYSIS
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申请号： EP18782159.0申请日： 2018-09-28
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公开(公告)号： EP3688785A1公开(公告)日： 2020-08-05
- 发明人: STATHAM, Peter , BEWICK, Angus
- 申请人： Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited
- 申请人地址： Tubney Woods Abingdon, Oxon OX13 5QX GB
- 专利权人： Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited
- 当前专利权人： Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited
- 当前专利权人地址： Tubney Woods Abingdon, Oxon OX13 5QX GB
- 代理机构： Gill Jennings & Every LLP
- 优先权： GB201715902 20170929
- 国际公布： WO2019064013 20190404
- 主分类号： H01J37/22
- IPC分类号： H01J37/22 ; H01J37/244 ; H01J37/295
公开/授权文献
- EP3688785B1 IMPROVED SYSTEM FOR ELECTRON DIFFRACTION ANALYSIS 公开/授权日：2024-07-24
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