- 专利标题： USE OF COMPOSITIONS COMPRISING A SILOXANE-TYPE ADDITIVE FOR AVOIDING PATTERN COLLAPSE WHEN TREATING PATTERNED MATERIALS WITH LINE-SPACE DIMENSIONS OF 50 NM OR BELOW
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申请号： EP18800532.6申请日： 2018-10-29
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公开(公告)号： EP3704547A1公开(公告)日： 2020-09-09
- 发明人: LOEFFLER, Daniel , SHEN, Mei Chin , WEI, Sheng Hsuan , PIRRUNG, Frank , ENGELBRECHT, Lothar , BURK, Yeni , KLIPP, Andreas , BRILL, Marcel , CSIHONY, Szilard
- 申请人： BASF SE
- 申请人地址： Carl-Bosch-Strasse 38 67056 Ludwigshafen am Rhein DE
- 专利权人： BASF SE
- 当前专利权人： BASF SE
- 当前专利权人地址： Carl-Bosch-Strasse 38 67056 Ludwigshafen am Rhein DE
- 代理机构： BASF IP Association
- 优先权： EP17199807 20171103
- 国际公布： WO2019086374 20190509
- 主分类号： G03F7/40
- IPC分类号： G03F7/40 ; C11D1/66 ; C11D11/00 ; H01L21/02 ; H01L21/027
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