- 专利标题： REACTOR FOR APPLYING A COATING ON INTERNAL SURFACES OF COMPONENTS
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申请号： EP19772037.8申请日： 2019-03-18
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公开(公告)号： EP3768875A1公开(公告)日： 2021-01-27
- 发明人: MELNIK, Yuriy , CHATTERJEE, Sukti , GANGAKHEDKAR, Kaushal , FRANKEL, Jonathan , SCUDDER, Lance A. , NARWANKAR, Pravin K. , BRITZ, David Alexander , ISHIKAWA, David Masayuki
- 申请人： Applied Materials, Inc.
- 申请人地址： US Santa Clara, California 95054 3050 Bowers Avenue
- 代理机构： Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
- 优先权： US201862644645 P 20180319
- 国际公布： WO2019182991 20190926
- 主分类号： C23C16/455
- IPC分类号： C23C16/455 ; C23C16/44 ; C23C16/04 ; C23C16/458
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