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公开(公告)号:EP3768874A1
公开(公告)日:2021-01-27
申请号:EP19771810.9
申请日:2019-03-18
发明人: MELNIK, Yuriy , CHATTERJEE, Sukti , GANGAKHEDKAR, Kaushal , FRANKEL, Jonathan , SCUDDER, Lance A. , NARWANKAR, Pravin K. , BRITZ, David , KNISLEY, Thomas , SALY, Mark , THOMPSON, David
IPC分类号: C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/34 , C23C16/42
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公开(公告)号:EP4139746A1
公开(公告)日:2023-03-01
申请号:EP21793032.0
申请日:2021-02-23
发明人: CEBALLOS, Andrew , HOURANI, Rami , OHNO, Kenichi , MELNIK, Yuriy , JOSHI, Amita
IPC分类号: G03F7/00 , C23C16/04 , C23C16/40 , C23C16/455
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公开(公告)号:EP4025722A1
公开(公告)日:2022-07-13
申请号:EP20861899.1
申请日:2020-07-09
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4.
公开(公告)号:EP3551780A1
公开(公告)日:2019-10-16
申请号:EP17878511.9
申请日:2017-12-07
IPC分类号: C23C16/452 , C23C16/448 , H01L21/02
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公开(公告)号:EP3784815A1
公开(公告)日:2021-03-03
申请号:EP19793402.9
申请日:2019-02-22
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公开(公告)号:EP3768875A1
公开(公告)日:2021-01-27
申请号:EP19772037.8
申请日:2019-03-18
发明人: MELNIK, Yuriy , CHATTERJEE, Sukti , GANGAKHEDKAR, Kaushal , FRANKEL, Jonathan , SCUDDER, Lance A. , NARWANKAR, Pravin K. , BRITZ, David Alexander , ISHIKAWA, David Masayuki
IPC分类号: C23C16/455 , C23C16/44 , C23C16/04 , C23C16/458
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7.
公开(公告)号:EP3688205A1
公开(公告)日:2020-08-05
申请号:EP18861942.3
申请日:2018-09-21
发明人: ARNEPALLI, Ranga Rao , NEIKIRK, Colin Costano , MELNIK, Yuriy , SETH, Suresh Chand , NARWANKAR, Pravin K. , CHATTERJEE, Sukti , SCUDDER, Lance A.
IPC分类号: C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/56 , C23C16/01 , C12Q1/6869
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公开(公告)号:EP4200089A1
公开(公告)日:2023-06-28
申请号:EP21858941.4
申请日:2021-08-17
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9.
公开(公告)号:EP4139745A1
公开(公告)日:2023-03-01
申请号:EP21793030.4
申请日:2021-02-19
发明人: CEBALLOS, Andrew , HOURANI, Rami , OHNO, Kenichi , MELNIK, Yuriy , JOSHI, Amita
IPC分类号: G03F7/00 , C23C16/04 , C23C16/40 , C23C16/455
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公开(公告)号:EP3983570A1
公开(公告)日:2022-04-20
申请号:EP20822999.7
申请日:2020-04-08
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