- 专利标题： METHOD OF IMPRINTING TILT ANGLE LIGHT GRATINGS
-
申请号： EP19811359.9申请日： 2019-04-24
-
公开(公告)号： EP3803503A1公开(公告)日： 2021-04-14
- 发明人: YOUNG, Michael Yu-tak , GODET, Ludovic , VISSER, Robert Jan , MCMILLAN, Wayne
- 申请人： Applied Materials, Inc.
- 申请人地址： US Santa Clara, California 95054 3050 Bowers Avenue
- 代理机构： Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
- 优先权： US201816191340 20181114
- 国际公布： WO2019231588 20191205
- 主分类号： G02B27/44
- IPC分类号： G02B27/44
信息查询
