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公开(公告)号:EP3895211A1
公开(公告)日:2021-10-20
申请号:EP19895899.3
申请日:2019-12-13
发明人: MCMILLAN, Wayne , SIVARAMAKRISHNAN, Visweswaren , OLSON, Joseph C. , GODET, Ludovic , MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger , ARGAMAN, Naamah
IPC分类号: H01L21/683 , H01J37/32 , H01L21/687
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公开(公告)号:EP3814840A1
公开(公告)日:2021-05-05
申请号:EP19824762.9
申请日:2019-06-27
IPC分类号: G03F7/00 , G03F7/20 , G03F1/80 , H01L21/033 , H01L21/02 , H01L21/306
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4.
公开(公告)号:EP3814810A1
公开(公告)日:2021-05-05
申请号:EP19827134.8
申请日:2019-05-23
发明人: FU, Jinxin , GODET, Ludovic , MCMILLAN, Wayne
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公开(公告)号:EP3953746A1
公开(公告)日:2022-02-16
申请号:EP20788675.5
申请日:2020-04-09
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公开(公告)号:EP3899087A1
公开(公告)日:2021-10-27
申请号:EP19898242.3
申请日:2019-10-25
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公开(公告)号:EP4042373A1
公开(公告)日:2022-08-17
申请号:EP20874556.2
申请日:2020-09-14
发明人: XU, Yongan , XING, Chan Juan , FU, Jinxin , WANG, Yifei , MCMILLAN, Wayne , GODET, Ludovic
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公开(公告)号:EP3782190A1
公开(公告)日:2021-02-24
申请号:EP19787886.1
申请日:2019-02-21
发明人: GODET, Ludovic , MCMILLAN, Wayne , MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger , ARGAMAN, Naamah , ROY, Tapashree , DOSHAY, Sage
IPC分类号: H01L21/768 , H01L21/027 , H01L21/52 , H01L33/00 , H01L27/146 , G03F7/00
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