公开(公告)号：EP3762778A1

公开(公告)日：2021-01-13

申请号：EP19763340.7

申请日：2019-03-05

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： YOUNG, Michael Yu-tak ,  GODET, Ludovic ,  VISSER, Robert Jan ,  ARGAMAN, Naamah ,  BENCHER, Christopher Dennis ,  MCMILLAN, Wayne

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F7/00 ,  G03F7/16 ,  H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324

公开(公告)号：EP3717967A1

公开(公告)日：2020-10-07

申请号：EP18883690.2

申请日：2018-11-13

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： YOUNG, Michael Yu-tak ,  MCMILLAN, Wayne ,  MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger ,  VISSER, Robert Jan

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F7/00 ,  G03F1/22 ,  G03F1/80 ,  H01L21/033 ,  H01L21/3065

公开(公告)号：EP3635474A1

公开(公告)日：2020-04-15

申请号：EP18809679.6

申请日：2018-05-30

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： VISSER, Robert Jan ,  GHOSH, Avishek

IPC分类号： G02B27/01 ,  B82Y20/00

公开(公告)号：EP4292122A1

公开(公告)日：2023-12-20

申请号：EP22753396.5

申请日：2022-02-11

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： BAJAJ, Geetika ,  GORADIA, Prerna Sonthalia ,  GANGULI, Seshadri ,  GANDIKOTA, Srinivas ,  VISSER, Robert Jan ,  RENGARAJAN, Suraj

IPC分类号： H01L21/02 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/56

公开(公告)号：EP3987333A1

公开(公告)日：2022-04-27

申请号：EP20827300.3

申请日：2020-06-16

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： GODET, Ludovic ,  ROY, Tapashree ,  GORADIA, Prerna Sonthalia ,  SEN, Srobona ,  VISSER, Robert Jan ,  DEEPAK, Nitin ,  CHAKRABORTY, Tapash

IPC分类号： G02B6/43 ,  G02B6/42

公开(公告)号：EP3980830A1

公开(公告)日：2022-04-13

申请号：EP20818749.2

申请日：2020-04-27

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： FU, Jinxin ,  XU, Yongan ,  GODET, Ludovic ,  ARGAMAN, Naamah ,  VISSER, Robert Jan

IPC分类号： G02B13/00 ,  G02B5/04 ,  H04N5/225

公开(公告)号：EP3909070A1

公开(公告)日：2021-11-17

申请号：EP19908794.1

申请日：2019-12-04

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： YOUNG, Michael Yu-Tak ,  GODET, Ludovic ,  VISSER, Robert Jan

IPC分类号： H01L21/68

公开(公告)号：EP4196624A1

公开(公告)日：2023-06-21

申请号：EP21856619.8

申请日：2021-08-11

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： BAJAJ, Geetika ,  THAKARE, Darshan ,  GORADIA, Prerna ,  VISSER, Robert Jan ,  YANG, Yixiong ,  WRENCH, Jacqueline S. ,  GANDIKOTA, Srinivas

IPC分类号： C23C16/18 ,  C23C16/455 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  H01L29/49 ,  C07F7/28 ,  C07F5/06 ,  C07F7/08

公开(公告)号：EP4066295A1

公开(公告)日：2022-10-05

申请号：EP20892510.7

申请日：2020-11-18

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： YU, Gang ,  CHEN, Chung-Chia ,  LIN, Wan-Yu ,  BANG, Hyunsung ,  XU, Lisong ,  KWAK, Byung Sung ,  VISSER, Robert Jan

IPC分类号： H01L51/52 ,  H01L27/32 ,  H01L51/56

公开(公告)号：EP3775848A1

公开(公告)日：2021-02-17

申请号：EP19784332.9

申请日：2019-03-29

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： GHOSH, Avishek ,  KWAK, Byung-Sung ,  VISSER, Robert Jan ,  EGAN, Todd ,  BANAPPANAVAR, Gangadhar ,  KABRA, Dinesh

IPC分类号： G01N21/27 ,  G01N21/31 ,  H01L51/00