- 专利标题： PROCEDE DE REALISATION D'UNE COUCHE DE MATERIAU STRUCTUREE
- 专利标题（英）： METHOD FOR MANUFACTURING A LAYER OF STRUCTURED MATERIAL
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申请号： EP20211084.7申请日： 2020-12-01
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公开(公告)号： EP3836235A1公开(公告)日： 2021-06-16
- 发明人: GASSE, Adrien , DUSSAIGNE, Amélie , LEVY, François
- 申请人： Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 申请人地址： FR 75015 Paris Bâtiment le Ponant 25, rue Leblanc
- 代理机构： Brevalex
- 优先权： FR1914172 20191211
- 主分类号： H01L33/00
- IPC分类号： H01L33/00 ; H01L21/02 ; H01L21/033 ; H01L21/308 ; H01L21/311
摘要：
Procédé de réalisation d'une couche de matériau (100) structurée, comprenant :
- réalisation d'un premier substrat (102) comportant une face structurée (104) ;
- réalisation, contre la face structurée du premier substrat, d'un empilement de couches (110) comprenant une couche intermédiaire (112) et la couche à structurer, la couche intermédiaire étant disposée entre la couche à structurer et le premier substrat, une première face (114) de la couche intermédiaire disposée du côté du premier substrat étant structurée conformément à un motif inverse de celui de la face structurée du premier substrat ;
- retrait du premier substrat ;
- gravure anisotrope de la couche intermédiaire mise en œuvre depuis la première face de la couche intermédiaire, et gravure d'au moins une partie de l'épaisseur de la couche à structurer, structurant une face (119) de la couche à structurer conformément au motif de la première face de la couche intermédiaire.
- réalisation d'un premier substrat (102) comportant une face structurée (104) ;
- réalisation, contre la face structurée du premier substrat, d'un empilement de couches (110) comprenant une couche intermédiaire (112) et la couche à structurer, la couche intermédiaire étant disposée entre la couche à structurer et le premier substrat, une première face (114) de la couche intermédiaire disposée du côté du premier substrat étant structurée conformément à un motif inverse de celui de la face structurée du premier substrat ;
- retrait du premier substrat ;
- gravure anisotrope de la couche intermédiaire mise en œuvre depuis la première face de la couche intermédiaire, et gravure d'au moins une partie de l'épaisseur de la couche à structurer, structurant une face (119) de la couche à structurer conformément au motif de la première face de la couche intermédiaire.
公开/授权文献
- EP3836235B1 PROCEDE DE REALISATION D'UNE COUCHE DE MATERIAU STRUCTUREE 公开/授权日：2022-08-24
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