- 专利标题： MATERIAL FOR FORMING ORGANIC FILM, METHOD FOR FORMING ORGANIC FILM, PATTERNING PROCESS, AND COMPOUND
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申请号： EP21159432.0申请日： 2021-02-25
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公开(公告)号： EP3879341B1公开(公告)日： 2022-09-21
- 发明人: Nakahara, Takayoshi , Kori, Daisuke , Biyajima, Yusuke
- 专利权人： Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- 当前专利权人： Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： 4-1, Marunouchi 1-chome Chiyoda-ku Tokyo 100-0005 JP
- 代理机构： Wibbelmann, Jobst
- 优先权： JP2020034704 20200302
- 主分类号： G03F7/09
- IPC分类号： G03F7/09 ; C07C233/80 ; C07C235/84 ; C07D233/74 ; C07D239/10 ; C07D251/30 ; C07D487/04 ; H01L21/033
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