发明公开
- 专利标题： VORRICHTUNG ZUM BELICHTEN VON PLATTENFÖRMIGEN WERKSTÜCKEN MIT HOHEM DURCHSATZ
- 专利标题（英）： DEVICE FOR EXPOSING PLANAR WORKPIECES AT A HIGH THROUGHPUT RATE
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申请号： EP19832544.1申请日： 2019-12-11
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公开(公告)号： EP3894961A1公开(公告)日： 2021-10-20
- 发明人: RÜCKER, Steffen , KLOWSKY, Uwe
- 申请人： Laser Imaging Systems GmbH
- 申请人地址： DE 07745 Jena Friedrich-Hund-Strasse 3
- 代理机构： Gleim Petri Oehmke Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB
- 优先权： DE102018132001 20181212
- 国际公布： WO2020119863 20200618
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G03F9/00 ; B23K26/08 ; C23C16/04 ; C23C16/48
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