- 专利标题: METHOD OF FORMING A PLURALITY OF GRATINGS
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申请号: EP19899470.9申请日: 2019-12-17
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公开(公告)号: EP3899646A1公开(公告)日: 2021-10-27
- 发明人: EVANS, Morgan , OLSON, Joseph C. , MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger
- 申请人: Applied Materials, Inc.
- 申请人地址: US Santa Clara, California 95054 3050 Bowers Avenue
- 代理机构: Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
- 优先权: US201862780802 P 20181217
- 国际公布: WO2020131852 20200625
- 主分类号: G02B27/44
- IPC分类号: G02B27/44 ; G02B6/122 ; G02B6/12
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