公开(公告)号：EP3878007A1

公开(公告)日：2021-09-15

申请号：EP19881467.5

申请日：2019-10-18

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger ,  OLSON, Joseph C. ,  EVANS, Morgan

IPC分类号： H01L21/265 ,  H01L21/768 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/033 ,  H01L21/311

公开(公告)号：EP4100987A1

公开(公告)日：2022-12-14

申请号：EP21750582.5

申请日：2021-01-12

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger ,  EVANS, Morgan ,  PEPLOSKI, Maurice Emerson ,  OLSON, Joseph C. ,  SOLDI, Thomas James

IPC分类号： H01J37/305 ,  H01J37/08 ,  G02B5/18

公开(公告)号：EP3899614A1

公开(公告)日：2021-10-27

申请号：EP19898594.7

申请日：2019-12-17

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： GODET, Ludovic ,  OLSON, Joseph C. ,  MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger

IPC分类号： G02B6/122 ,  G02B27/01 ,  G02B30/00

公开(公告)号：EP3899607A1

公开(公告)日：2021-10-27

申请号：EP19899230.7

申请日：2019-12-05

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： OLSON, Joseph C. ,  EVANS, Morgan ,  MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger

IPC分类号： G02B5/18

公开(公告)号：EP3956629A1

公开(公告)日：2022-02-23

申请号：EP20791522.4

申请日：2020-04-06

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： FU, Jinxin ,  WANG, Yifei ,  MCMACKIN, Ian Matthew ,  MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger ,  GODET, Ludovic ,  OLSON, Joseph C. ,  EVANS, Morgan

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01J3/02 ,  G02B27/10

公开(公告)号：EP3900020A1

公开(公告)日：2021-10-27

申请号：EP19901253.5

申请日：2019-12-06

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： OLSON, Joseph C. ,  GODET, Ludovic ,  MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger ,  EVANS, Morgan ,  FU, Jinxin

IPC分类号： H01L21/265 ,  H01L21/67 ,  H01L23/538

公开(公告)号：EP3900008A1

公开(公告)日：2021-10-27

申请号：EP19901270.9

申请日：2019-12-17

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： GODET, Ludovic ,  OLSON, Joseph C. ,  MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger

IPC分类号： H01J37/305 ,  H01J37/08 ,  H01J37/30

公开(公告)号：EP3895211A1

公开(公告)日：2021-10-20

申请号：EP19895899.3

申请日：2019-12-13

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： MCMILLAN, Wayne ,  SIVARAMAKRISHNAN, Visweswaren ,  OLSON, Joseph C. ,  GODET, Ludovic ,  MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger ,  ARGAMAN, Naamah

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01J37/32 ,  H01L21/687

公开(公告)号：EP3900027A1

公开(公告)日：2021-10-27

申请号：EP19900499.5

申请日：2019-11-25

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： EVANS, Morgan ,  OLSON, Joseph C.

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/306 ,  H01L21/425 ,  H01L21/027 ,  H01L27/15 ,  H01L25/075

公开(公告)号：EP3899646A1

公开(公告)日：2021-10-27

申请号：EP19899470.9

申请日：2019-12-17

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： EVANS, Morgan ,  OLSON, Joseph C. ,  MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger

IPC分类号： G02B27/44 ,  G02B6/122 ,  G02B6/12