- 专利标题： MEASUREMENT SYSTEM AND A METHOD OF DIFFRACTING LIGHT
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申请号： EP20791522.4申请日： 2020-04-06
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公开(公告)号： EP3956629A1公开(公告)日： 2022-02-23
- 发明人: FU, Jinxin , WANG, Yifei , MCMACKIN, Ian Matthew , MEYER TIMMERMAN THIJSSEN, Rutger , GODET, Ludovic , OLSON, Joseph C. , EVANS, Morgan
- 申请人： Applied Materials, Inc.
- 申请人地址： US Santa Clara, California 95054 3050 Bowers Avenue
- 代理机构： Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
- 优先权： US201916539930 20190813
- 国际公布： WO2020214444 20201022
- 主分类号： G01B9/02
- IPC分类号： G01B9/02 ; G01J3/02 ; G02B27/10
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