- 专利标题： IMAGING SYSTEM AND METHOD OF MANUFACTURING A METALENS ARRAY
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申请号： EP20817680.0申请日： 2020-05-19
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公开(公告)号： EP3980838A1公开(公告)日： 2022-04-13
- 发明人: FU, Jinxin , ROY, Tapashree , GODET, Ludovic , MCMILLAN, Wayne , VISSER, Robert J.
- 申请人： Applied Materials, Inc.
- 申请人地址： US Santa Clara, California 95054 3050 Bowers Avenue
- 代理机构： Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
- 优先权： US201916537326 20190809
- 国际公布： WO2020247172 20201210
- 主分类号： G02B27/01
- IPC分类号： G02B27/01 ; G02B3/00
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