公开(公告)号：EP4201062A1

公开(公告)日：2023-06-28

申请号：EP21858831.7

申请日：2021-08-10

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： WU, Chung-Chih ,  LIN, Hoang Yan ,  SU, Guo-Dong ,  CYUE, Zih-Rou ,  YU, Li-Yu ,  LEE, Wei-Kai ,  CHEN, Guan-Yu ,  CHEN, Chung-Chia ,  LIN, Wan-Yu ,  YU, Gang ,  KWAK, Byung Sung ,  VISSER, Robert J. ,  CHANG, Chi-Jui

IPC分类号： H04N13/388 ,  H01L51/50

公开(公告)号：EP4204867A1

公开(公告)日：2023-07-05

申请号：EP21862329.6

申请日：2021-07-28

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： SEN, Srobona ,  ROY, Tapashree ,  GORADIA, Prerna Sonthalia ,  VISSER, Robert J.

IPC分类号： G02B5/00 ,  G02B1/04 ,  B29D11/00

公开(公告)号：EP3980838A1

公开(公告)日：2022-04-13

申请号：EP20817680.0

申请日：2020-05-19

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： FU, Jinxin ,  ROY, Tapashree ,  GODET, Ludovic ,  MCMILLAN, Wayne ,  VISSER, Robert J.

IPC分类号： G02B27/01 ,  G02B3/00

公开(公告)号：EP4275237A1

公开(公告)日：2023-11-15

申请号：EP21918032.0

申请日：2021-11-12

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： CHEN, Chung-Chia ,  KWAK, Byung Sung ,  VISSER, Robert J.

IPC分类号： H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  C23C14/04

公开(公告)号：EP4182981A1

公开(公告)日：2023-05-24

申请号：EP20945500.5

申请日：2020-07-16

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： CHEN, Chung-Chia ,  LIN, Wan-Yu ,  YU, Gang ,  KWAK, Byung Sung ,  VISSER, Robert J. ,  WU, Chung-Chih ,  LIN, Hoang Yan ,  SU, Guo-Dong ,  CHEN, Yi-Jiun ,  LEE, Wei-Kai ,  XU, Lisong ,  BANG, Hyunsung

IPC分类号： H01L51/50 ,  H01L51/56 ,  H01L27/32 ,  H01L51/00

公开(公告)号：EP3931638A1

公开(公告)日：2022-01-05

申请号：EP20766669.4

申请日：2020-02-28

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： YOUNG, Michael Y. ,  GODET, Ludovic ,  VISSER, Robert J.

IPC分类号： G03F7/00 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  B29C59/02