- 专利标题： MONOALKOXYSILANES AND DENSE ORGANOSILICA FILMS MADE THEREFROM
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申请号： EP20862226.6申请日： 2020-09-10
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公开(公告)号： EP4018013A1公开(公告)日： 2022-06-29
- 发明人: XIAO, Manchao , ENTLEY, William Robert , SPENCE, Daniel P. , VRTIS, Raymond Nicholas , ACHTYL, Jennifer Lynn Anne , RIDGEWAY, Robert Gordon , LEI, Xinjian
- 申请人： Versum Materials US, LLC
- 申请人地址： US Tempe, AZ 85284 8555 River Parkway
- 代理机构： Sommer, Andrea
- 优先权： US201962899824 P 20190913
- 国际公布： WO2021050659 20210318
- 主分类号： C23C14/12
- IPC分类号： C23C14/12 ; C23C16/18 ; H01L21/02
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