- 专利标题： MULTI-BEAM DIGITAL SCAN AND IMAGE ACQUISITION
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申请号： EP21703394.3申请日： 2021-02-01
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公开(公告)号： EP4100986A1公开(公告)日： 2022-12-14
- 发明人: KAUFMANN, Nicolas , ADOLF, Andreas , WIECZOREK, Volker , RIEDESEL, Christof , KÄMMER, Nico , SCHUBERT, Stefan
- 申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH
- 申请人地址： DE 73447 Oberkochen Carl-Zeiss-Strasse 22
- 代理机构： Carl Zeiss SMT GmbH
- 优先权： DE102020213952 20201106
- 国际公布： WO2021156198 20210812
- 主分类号： H01J37/28
- IPC分类号： H01J37/28 ; H01J37/22 ; H01J37/26
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