公开(公告)号：EP4100986A1

公开(公告)日：2022-12-14

申请号：EP21703394.3

申请日：2021-02-01

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： KAUFMANN, Nicolas ,  ADOLF, Andreas ,  WIECZOREK, Volker ,  RIEDESEL, Christof ,  KÄMMER, Nico ,  SCHUBERT, Stefan

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26

公开(公告)号：EP4158674A1

公开(公告)日：2023-04-05

申请号：EP21722823.8

申请日：2021-04-29

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： ZEIDLER, Dirk ,  BIHR, Ulrich ,  ADOLF, Andreas ,  KAUFMANN, Nicolas ,  MÜLLER, Ingo ,  BEHNKE, Michael

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/26 ,  H01J37/20