- 专利标题： METHODS OF MODELLING SYSTEMS FOR PERFORMING PREDICTIVE MAINTENANCE OF SYSTEMS, SUCH AS LITHOGRAPHIC SYSTEMS
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申请号： EP21702283.9申请日： 2021-02-04
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公开(公告)号： EP4115241A1公开(公告)日： 2023-01-11
- 发明人: LANCIA, Carlo , GANTAPARA, Anjan Prasad , KERNKAMP, Dirk-Jan , MOSSAVAT, Seyed Iman , YPMA, Alexander
- 申请人： ASML Netherlands B.V.
- 申请人地址： NL 5500 AH Veldhoven P.O. Box 324
- 代理机构： ASML Netherlands B.V.
- 优先权： EP20174756 20200514
- 国际公布： WO2021175533 20210910
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G05B23/02
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