- 专利标题： COMPOSITION COMPRISING A SILOXANE AND AN ALKANE FOR AVOIDING PATTERN COLLAPSE WHEN TREATING PATTERNED MATERIALS WITH LINE-SPACE DIMENSIONS OF 50 NM OR BELOW
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申请号： EP21737452.9申请日： 2021-06-29
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公开(公告)号： EP4179057A1公开(公告)日： 2023-05-17
- 发明人: KAO, Chi Yueh , SHEN, Mary , KLIPP, Andreas , GUEVENC, Haci Osman , LOEFFLER, Daniel
- 申请人： BASF SE
- 申请人地址： DE 67056 Ludwigshafen am Rhein Carl-Bosch-Strasse 38
- 代理机构： BASF IP Association
- 优先权： EP20185047 20200709
- 国际公布： WO2022008306 20220113
- 主分类号： C11D11/00
- IPC分类号： C11D11/00 ; G03F7/40 ; H01L21/02
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