- 专利标题： MASSIVE OVERLAY METROLOGY SAMPLING WITH MULTIPLE MEASUREMENT COLUMNS
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申请号： EP21895325.5申请日： 2021-10-28
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公开(公告)号： EP4211450A1公开(公告)日： 2023-07-19
- 发明人: MADSEN, Jonathan , SHCHEGROV, Andrei V. , MANASSEN, Amnon , HILL, Andrew V. , SIMON, Yossi , LAREDO, Gilad , UZIEL, Yoram
- 申请人： KLA Corporation
- 申请人地址： US Milpitas, California 95035 Legal Department One Technology Drive
- 代理机构： FRKelly
- 优先权： US202117210793 20210324
- 国际公布： WO2022108723 20220527
- 主分类号： G01N21/88
- IPC分类号： G01N21/88 ; G01N21/956
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