公开(公告)号：EP4251979A1

公开(公告)日：2023-10-04

申请号：EP21918085.8

申请日：2021-12-28

申请人： KLA Corporation

发明人： HILL, Andrew V. ,  MANASSEN, Amnon ,  ABRAMOV, Avi ,  GRANOT, Asaf ,  SHCHEGROV, Andrei V.

IPC分类号： G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G03F7/20

公开(公告)号：EP3853588A1

公开(公告)日：2021-07-28

申请号：EP19873970.8

申请日：2019-10-15

申请人： KLA Corporation

发明人： HILL, Andrew V. ,  GORELIK, Dmitry

IPC分类号： G01N21/47 ,  G01N21/21

公开(公告)号：EP4308910A1

公开(公告)日：2024-01-24

申请号：EP22799278.1

申请日：2022-04-18

申请人： KLA Corporation

发明人： HILL, Andrew V. ,  FELER, Yoel ,  MANASSEN, Amnon ,  GHINOVKER, Mark ,  VAKNIN, Yonatan

IPC分类号： G01N21/956 ,  G01N21/88 ,  G01B11/25 ,  G03F7/20 ,  G06T7/00

公开(公告)号：EP4323751A1

公开(公告)日：2024-02-21

申请号：EP22861914.4

申请日：2022-08-19

申请人： KLA Corporation

发明人： HILL, Andrew V. ,  MANASSEN, Amnon ,  GORELIK, Dmitry

IPC分类号： G01N21/47 ,  G01N21/88 ,  G01N21/956 ,  G01B11/27

公开(公告)号：EP4154064A1

公开(公告)日：2023-03-29

申请号：EP21853936.9

申请日：2021-08-02

申请人： KLA Corporation

发明人： MANASSEN, Amnon ,  HILL, Andrew V.

IPC分类号： G03F7/20 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956

公开(公告)号：EP4115172A1

公开(公告)日：2023-01-11

申请号：EP21808030.7

申请日：2021-05-17

申请人： KLA Corporation

发明人： MANASSEN, Amnon ,  HILL, Andrew V. ,  LAREDO, Gilad

IPC分类号： G01N21/956 ,  G01N21/88 ,  G01N21/47 ,  G01N21/59 ,  G06T7/00

公开(公告)号：EP4285110A1

公开(公告)日：2023-12-06

申请号：EP22767650.9

申请日：2022-02-18

申请人： KLA Corporation

发明人： HILL, Andrew V. ,  MANASSEN, Amnon

IPC分类号： G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G01B11/25 ,  G03F7/20 ,  G06T7/00

公开(公告)号：EP4251978A1

公开(公告)日：2023-10-04

申请号：EP21916291.4

申请日：2021-12-24

申请人： KLA Corporation

发明人： HILL, Andrew V. ,  MANASSEN, Amnon

IPC分类号： G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G03F7/20

公开(公告)号：EP4211450A1

公开(公告)日：2023-07-19

申请号：EP21895325.5

申请日：2021-10-28

申请人： KLA Corporation

发明人： MADSEN, Jonathan ,  SHCHEGROV, Andrei V. ,  MANASSEN, Amnon ,  HILL, Andrew V. ,  SIMON, Yossi ,  LAREDO, Gilad ,  UZIEL, Yoram

IPC分类号： G01N21/88 ,  G01N21/956