- 专利标题： MULTI-BEAM GENERATING UNIT WITH INCREASED FOCUSING POWER
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申请号： EP22733868.8申请日： 2022-05-25
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公开(公告)号： EP4385053A1公开(公告)日： 2024-06-19
- 发明人: SAROV, Yanko , ZEIDLER, Dirk , SCHMID, Thomas , KURIJ, Georg , KÄSTNER, Marcus , BIHR, Ulrich , SINGER, Wolfgang
- 申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH
- 申请人地址： DE 73447 Oberkochen Carl-Zeiss-Strasse 22
- 专利权人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH
- 当前专利权人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH
- 当前专利权人地址： DE 73447 Oberkochen Carl-Zeiss-Strasse 22
- 代理机构： Tesch-Biedermann, Carmen
- 优先权： DE 2021208700 2021.08.10
- 国际申请： EP2022064275 2022.05.25
- 国际公布： WO2023016678 2023.02.16
- 主分类号： H01J37/04
- IPC分类号： H01J37/04 ; H01J37/09 ; H01J37/12
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