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1.

发明公开
MULTI-BEAM GENERATING UNIT WITH INCREASED FOCUSING POWER 审中-实审

公开(公告)号：EP4385053A1

公开(公告)日：2024-06-19

申请号：EP22733868.8

申请日：2022-05-25

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： SAROV, Yanko , ZEIDLER, Dirk , SCHMID, Thomas , KURIJ, Georg , KÄSTNER, Marcus , BIHR, Ulrich , SINGER, Wolfgang

IPC分类号： H01J37/04 , H01J37/09 , H01J37/12

CPC分类号： H01J37/04 , H01J37/09 , H01J37/12 , H01J2237/045320130101 , H01J2237/0492420130101 , H01J2237/120520130101 , H01J2237/121520130101

2.

发明公开
VIELSTRAHL-TEILCHENSTRAHLSYSTEM UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES SOLCHEN 审中-公开

公开(公告)号：EP3861565A1

公开(公告)日：2021-08-11

申请号：EP19782549.0

申请日：2019-09-30

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： ZEIDLER, Dirk , RIEDESEL, Christof , THOMA, Arne , METALIDIS, Georgo , JACOBI, Jörg , SCHUBERT, Stefan , LENKE, Ralf , BIHR, Ulrich , SAROV, Yanko , KURIJ, Georg

IPC分类号： H01J37/317

3.

发明公开
CERTAIN IMPROVEMENTS OF MULTI-BEAM GENERATING AND MULTI-BEAM DEFLECTING UNITS 审中-公开

公开(公告)号：EP4118673A1

公开(公告)日：2023-01-18

申请号：EP21712715.8

申请日：2021-03-09

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： SAROV, Yanko , BIHR, Ulrich , FRITZ, Hans , ZEIDLER, Dirk , KURIJ, Georg , LENKE, Ralf , MAJOR, András, G. , RIEDESEL, Christof

IPC分类号： H01J37/147