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发明公开
MULTI-BEAM GENERATING UNIT WITH INCREASED FOCUSING POWER 审中-实审

公开(公告)号：EP4385053A1

公开(公告)日：2024-06-19

申请号：EP22733868.8

申请日：2022-05-25

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： SAROV, Yanko , ZEIDLER, Dirk , SCHMID, Thomas , KURIJ, Georg , KÄSTNER, Marcus , BIHR, Ulrich , SINGER, Wolfgang

IPC分类号： H01J37/04 , H01J37/09 , H01J37/12

CPC分类号： H01J37/04 , H01J37/09 , H01J37/12 , H01J2237/045320130101 , H01J2237/0492420130101 , H01J2237/120520130101 , H01J2237/121520130101